王耘博士与宁波材料所交流激光瞬间退火技术

时间:2022-07-01 00:51

本文摘要:近日,美国Ultratech公司王耘博士来宁波材料所交流采访,作过了为题LSA技术及其在半导体中的应用于的学术报告。 报告中,王耘博士认为LSA(激光瞬间热处理)技术是一种颠覆性技术,并分别从LSA技术的基本原理、在半导体设备中的应用于、集成电路生产的较慢热处理、增加非均匀分布光的方式,以及未来3D结构与新材料的可扩展性等几个方面展开详尽讲解。交流期间,王耘博士和参会人员就联合感兴趣问题展开深入探讨交流。

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近日,美国Ultratech公司王耘博士来宁波材料所交流采访,作过了为题LSA技术及其在半导体中的应用于的学术报告。  报告中,王耘博士认为LSA(激光瞬间热处理)技术是一种颠覆性技术,并分别从LSA技术的基本原理、在半导体设备中的应用于、集成电路生产的较慢热处理、增加非均匀分布光的方式,以及未来3D结构与新材料的可扩展性等几个方面展开详尽讲解。交流期间,王耘博士和参会人员就联合感兴趣问题展开深入探讨交流。

  会后,王耘博士分别参观了激光与智能能量场生产团队实验室、测试中心、超强净室以及光电光伏器件密切相关实验室。  王耘博士在半导体器件,工艺,及设备领域有二十多年经验。目前主要负责管理研发激光较慢热处理技术及应用于设备。

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其中LSA(激光瞬间热处理)技术正处于该领域世界领先地位,已被普遍应用于近期半导体芯片的生产流程,并获得2009年国际半导体设备和材料协会(SEMI)授予的年度新技术奖。  曾任美国摩托罗拉公司器件与工艺制备高级工程师,负责管理微控制器工艺流程的研发与技术转让。后重新加入美国半导体设备商Ultratech。历任项目经理,技术总监,副总裁,资深副总裁等职。

在较慢激光热处理与半导体工艺方面已获得13项专利,另有4项正在申请人之中。在学术会议和刊物公开发表论文近60篇。并多次获邀在涉及国际会议中兼任委员。

  早年毕业于北京大学物理系,后考上由诺贝尔奖获得者李政道发动的CUSPEA物理奖学金。美国纽约大学(NYU)物理硕士,明尼苏达大学电子工程博士。曾在纽约大学专门从事磁性薄膜的巨磁耦合研究。

在明尼苏达大学其间,专门从事纳米生产,量子及单电子晶体管的研究。


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